З розвитком напівпровідникової промисловості Китаю розробка ключових компонентів для технологічного обладнання стала критичною перешкодою для розробки обладнання. У міру того як заклик до локалізації вітчизняних напівпровідникових технологій зростає, все більше і більше вузьких місць у напівпровідниковій промисловості буде подолано. Спираючись на багаторічний досвід роботи в напівпровідниковій промисловості, наша компанія розробила високошвидкісний-серводвигун із порожнистим -валом для адсорбування пластин у напівпровідниковому покритті, проявному та очисному обладнанні. Цей двигун має високе прискорення, широкий діапазон швидкості та високу чутливість, і отримав широку оцінку споживачів у галузі.
Застосування серводвигуна з порожнистим-валом:
Обладнання для експонування та проявлення (нанесення покриття, проявлення): Основне обладнання для процесів фотолітографії, контроль нанесення покриття, експонування та проявлення.
Обладнання для очищення, покриття, проявлення та видалення плівки.
Підходить для фізичного промивання, очищення частинок і розпилення.
Технічні характеристики серводвигуна з порожнистим валом і області застосування:
750 Вт/1000 Вт – 5000, 6000 об/хв
Сфери застосування (-моделі високого рівня):
8-дюймове та 12-дюймове напівпровідникове обладнання.
Такі процеси, як покриття, проявлення, очищення та травлення.
Максимальне прискорення може досягати миттєвого прискорення 50000 R/S².
Спеціальна конструкція кінця вала забезпечує найнижчий коефіцієнт биття на кінці вала.
